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石英在半导体制程中的各种应用

作者:小编时间:2023-02-06 15:41:19 次浏览

信息摘要:

石英(SiO₂)材料咋一看和玻璃很像,但比较特别的是一般的玻璃是由许多成分(如石英砂、硼砂、硼酸、重晶石、碳酸钡、石灰石、长石、纯碱等)所构成,而石英只含有SiO₂成分,其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络。 因为石英之中含有的金属不纯物的量非常少,本身的纯度极高,因此石英本身拥有其他玻璃所无法呈现出的特性及优点,被誉为玻璃材料中的“皇冠”。比如说耐热程度,石英哪怕在火中烧红

石英(SiO₂)材料咋一看和玻璃很像,但比较特别的是一般的玻璃是由许多成分(如石英砂、硼砂、硼酸、重晶石、碳酸钡、石灰石、长石、纯碱等)所构成,而石英只含有SiO₂成分,其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络。 

因为石英之中含有的金属不纯物的量非常少,本身的纯度极高,因此石英本身拥有其他玻璃所无法呈现出的特性及优点,被誉为玻璃材料中的“皇冠”。比如说耐热程度,石英哪怕在火中烧红后立即放到水中都不会炸裂,而普通玻璃别说烧红后放到水中不炸裂,只是一烧就四分五裂了。更具体的优势如下:

1、耐高温。石英玻璃的软化点温度约为1730℃,可以在1150℃下长时间使用,短时间最高温度可达1450℃。

2、耐腐蚀。除氢氟酸外,高纯石英几乎与其他酸类物质不发生化学反应,在高温下,它能耐硫酸,硝酸,盐酸,王水,中性盐类,碳和硫等侵蚀。其耐酸能力是陶瓷的30倍,不锈钢的150倍,尤其是在高温下的化学稳定性,是其他任何工程材料都无法比拟的。

3、热稳定性好。高纯石英的热膨胀系数极小,能承受激烈的温度变化,将高纯石英加热至1100℃左右,放入常温水中也不会炸裂。

4、透光性能好。高纯石英在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能,可见光透光率在93%以上,特别是在紫外线光谱区,~大透光率可达80%以上。

5、电绝缘性能好。高纯石英的电阻值相当于普通石英玻璃的一万倍,是极好的电绝缘材料,即使在高温下也具有良好的电性能。

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石英制品在半导体中的应用

在半导体行业,石英被广泛应用,高纯石英制品更是晶圆生产中的重要耗材。生产硅单晶的坩埚、晶舟、扩散炉炉芯管等石英部件必须使用高纯石英玻璃制品。石英部件在半导体领域主要目标市场应用为晶圆代工中扩散和刻蚀工艺,可以分为高温区器件和低温区器件两大类,会使用的主要器件如下:

①高温区器件主要是扩散氧化等环节使用的炉管、玻璃舟架等,需要在高温环境中直接或间接与硅片接触;主要是采购电熔石英玻璃材料,通过热加工生产;

②低温区器件主要是刻蚀环节的石英环等,还包括清洗过程中的花篮、清洗槽等,主要在低温环境中使用;主要采购气炼石英玻璃,通过冷加工生产。

其中高温区器件消耗速度较快,但是类似多片机(一个承载器具承放多个硅片),低温区器件消耗速度较慢,但是单片机(一个承载器具承放一个硅片);因此两者整体市场规模相对比较接近。


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